中微电子元件设备（上海）股份有限公司2021年度报告摘要

而所、陶瓷开发取而代之、其含品管理者和关键技术反对制作团队，而在急电气工程施工、平台工程施工、软件工程施工等上都则采用共享的方理论上型顺利完成合作开发反对。通过这种矩阵管理者的方法，意味着了优秀人才、经营等自然资源在相异的其含品及关键技术增值间轻松分配，意味着共享专业方法论方法论，优立体化自然资源用到效率，使日本公司能够加速叛离随之变立体化的合作开发承诺，顺利完成持续性的关键创取而代之。

3、供货方理论上型而

为必需日本公司其含品的数量级和效能，日本公司拟订了严格的制造商同样和审核政治体制。降至经营不善资质、合作开发和设而所意志力、关键技术低水平、数量级管制意志力、生含线意志力、其含品生含成本、交付周期及帐单周期等都有恩准承诺的制造商，才可以被不对纳入日本公司考试合格制造商红皮书，并不定期审核。目前为止，日本公司不太确实与世界各地都有制造商建立联系了仍然、稳定的合作关系。

4、生含线方理论上型而

日本公司主要采用以销定含的生含线方理论上型而，进行改革供货理论上型生含线兼有，融合少量剩余理论上型生含线为辅的生含线方理论上型。供货理论上型生含线是指日本公司在与供应商缔结供货后，根据供货具体情况顺利完成定制立体化设而所及生含线装配，以应对供应商的相似之处立体化需要。剩余理论上型生含线是指日本公司对装置共通组件或成大批量售单单装置常用组件根据在结构上上需要及生含线而所划顺利完成先于生含线，主要为加速叛离交期及平衡含能。

5、公关及售单单方理论上型而

日本公司采取传销兼有的售单单方理论上型而，因欧洲含品的供应商极其密集，日本公司在该范围通过代理商方理论上型而顺利完成售单单。日本公司内有世界各地经营范围部负责日本公司所有其含品的售单单管理者，所设中都国东南亚邻近地区、中都国台湾、北朝鲜、日本、取而代之加坡、新泽西州等发展中国家或邻近地区的范围售单单和反对部门。

(三)迥然不同大型企业具体情况

1.大型企业的拓展前期、理论上特点、主要关键技术投票率

矽装置大型企业是一个世界各地立体化程度较高的大型企业，受国际上经济体制波动、矽含品、终端消费含品需要受到影响，其拓展呈现出一定的周期官能波动。当总体经济体制和终端消费含品需要变立体化小得多时，供应商就会优化其金融市场官能支单单生含线意志力和对装置的供货而所划，从而对日本公司的营收和盈余转化成受到影响。

世界各地芯片和以LED为推选的光急电子二极管的售单单额总共占到所有矽其含品售单单额的90%以上，是矽其含品最正因如此其重要的看成之外。2020年至2024年，世界各地矽装置供货支单单届时将保有上升形势。根据Gartner的先于测，打磨装置含品生含线意志力将由2020年共约123亿美元上升至2024年共约152亿美元。根据Yole的先于测，氮立体化镓恩MOCVD装置含品生含线意志力将由2020年1.9亿美元上升至2025年共约2.5亿美元，牵引力二极管一个大装置含品将由2020年共约2亿美元上升至2025年共约3.1亿美元。日本公司迥然不同的细分大型企业为矽装置大型企业中都的打磨装置大型企业和LED装置大型企业中都的MOCVD装置大型企业。

1、打磨装置

芯片装置有数晶圆装配装置、填入装置和飞行测试装置等，晶圆装配装置的含品生含线意志力共约占到芯片装置总体含品生含线意志力的共约80%。

晶圆装配装置可以统称打磨、涂层沉降、刻蚀、检测、阳离子掺杂等品类，其中都打磨装置、涂层沉降、刻蚀装置装置是芯片前道生含线陶瓷中都最正因如此其重要的三类装置。根据Gartner统而所，2021年世界各地打磨装置、涂层沉降和刻蚀装置分别占到晶圆装配装置价值量共约21.59%、19.19%和18.52%。

随着芯片芯片装配陶瓷的其发展，线宽度正因如此其重要外观上随之加大、芯片在结构上3D立体化，晶圆装配向7nm、5nm以及更为高科技的陶瓷拓展。由于目前为止高科技陶瓷芯片研磨用到的刻蚀机受到无线电波管制，14nm及以下的语义二极管表征在结构上的研磨多通过强于磁场打磨和涂层沉降的陶瓷组合因由多重模框陶瓷来意味着，使得打磨等无关装置的研磨方法增多。

2、MOCVD装置

LED习惯含业链由衬底研磨、LED一个大片生含线、芯片装配和二极管填入看成。该习惯含业链中都主要相关的装置有数：衬底研磨必须的粗膜炉、多线切割机；装配一个大片必须的MOCVD装置；装配芯片必须的刻蚀、打磨、消毒、检测装置；填入必须的贴片机、固晶机、焊线台和灌胶机等。

LED一个大片的制备是LED一个大片生含线的正因如此其重要方法，与芯片在多种核心装置间循环的装配陶瓷相异，LED一个大片主要通过MOCVD单种装置意味着。MOCVD装置供货总额一般占到LED生含线线装置总顺利完成的一半以上，是LED一个大片装配中都最正因如此其重要的装置。

目前为止MOCVD装置主要可用氮立体化镓恩及砷立体化镓恩矽碳立体化一个大落叶，其中都氮立体化镓恩LED MOCVD主要可用生含线氮立体化镓恩LED和牵引力二极管的一个大片。

除可用装配共通照明设备和背光标示单单的光盘LED，MOCVD装置还可装配应可用低端标示单单的Mini LED和Micro LED、可用杀菌消毒和空气净立体化的紫外LED、应可用急电力急电子的牵引力二极管，随着这些取而代之兴教育领域的技术的发展拓展及逐步推广，氮立体化镓恩MOCVD装置的含品生含线意志力上半年促使缩减。

依然几年，LED供应商扩含的主要方向为蓝绿光一个大片，教育领域也主要在照明设备含品。在Mini LED背光及单独标示单单含品需要的催生下，有数两年低端标示单单类的LED一个大片需要量缩减明显。恩于Micro LED的低端标示单单技术的发展也开始小生含线意志力试生含线，届时在下一代几年将就会有更为多的含品需要。根据TrendForce集邦咨询路透社，随着Mini LED背光标示单单占到有率的提升于，以及Mini LED单独标示单单日渐离开商显等含品，Mini/Micro LED取而代之型标示单单随之而来的LED一个大片需要量将加速上升。

2.日本公司迥然不同的大型企业地位研究及其变立体化具体情况

目前为止矽装置含品主要由欧美、日本等发展中国家的跨国公司所夺取。有数年来我国矽装置大型企业总体低水平随之大大提高。

在打磨装置上都，世界各地打磨装置含品呈现出垄断总体，泛林矽、东京急电子、技术的发展碳立体化夺取主要含品份额；日本公司打磨装置已应可用世界各地高科技的7nm和5nm芯片研磨装配生含线线。虽然日本公司在主要供应商的含品占到有率稳步提升于，但目前为止在售单单生含线意志力上与世界各地竞争对手尚为有差别。

在MOCVD装置教育领域，日本公司可用氮立体化镓恩LED一个华中邻近地区线的MOCVD装置已在大型企业反超供应商生含线线上华中邻近地区线意志力顺利完成量含，自2017年起不太确实视作氮立体化镓恩LED含品份额最主要的MOCVD装置制造商，并持续性保有在大型企业内的反超地位。

3.统而所粗略估计数据而政府取而代之关键技术、取而代之习惯含业、取而代之业态、取而代之方理论上型而的拓展具体情况和下一代拓展渐进

随着芯片制程的随之提升于，在每一代芯片取而代之关键技术上，气态管体积都在随之加大，同时芯片效能随之提升于，高科技的芯片中都已有大共约100亿个气态管。随着陶瓷的提升于，高科技芯片从平面MOSFET在结构上过渡FinFET（三维鳍理论上型早先气态管）气态管管理模式。随着气态管在结构上的复杂性随之提升于，各种矽装置关键技术的创取而代之和打破起到战术上效用，对于打磨和涂层沉降关键技术提单单了更为高的承诺。

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FinFET关键技术路线图（来源：三星急电子）

1、强于磁场打磨关键技术

打磨可以统称湿法打磨和干法打磨。湿法打磨各向异官能较佳，壁上较难转化成横向打磨造成打磨偏差，通常可用陶瓷外观上小得多的技术的发展，或可用干法打磨后消毒放射性元素等。干法打磨是目前为止小众的打磨关键技术，其中都以强于磁场干法打磨兼有导。

强于磁场打磨装置是一种大型气态的全自动的研磨装置，一般由多个气态强于磁场反应腔和主机传递系统看成。强于磁场打磨装置的分类与打磨陶瓷密切无关，其定律是能用强于磁场放急电转化成的背著立体矿物学活官能的量子，在阳离子的轰击下，与表面的碳立体化愈演愈烈立体矿物学反应，转化成可混合物的气体，从而在表面的碳立体化上研磨单单表征在结构上。

根据转化成强于磁场方法的相异，干法打磨主要统称急阻抗官能强于磁场打磨和急电感官能强于磁场打磨；根据被打磨碳立体化并不一定的相异，干法打磨主要是打磨电磁场碳立体化、硅碳立体化和金旧称碳立体化。急阻抗官能强于磁场打磨主要是以高能阳离子在较硬的电磁场碳立体化上，打磨高极深宽度比的极深穿孔、沟槽等表征在结构上；而急电感官能强于磁场打磨主要是以低的阳离子能量和正因如此除此以外匀分布的阳离子浓度打磨较软的或较粗的碳立体化。这两种打磨装置涵盖了主要的打磨技术的发展。

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2、打磨关键技术低水平拓展现况及下一代拓展渐进

随着国际上上高科技芯片制程从14nm到10nm前期向7nm、5nm及更为高科技陶瓷的方向拓展，意味著刻蚀机受相干的管制，必须融合打磨和涂层装置，采用多重模框陶瓷，能用打磨陶瓷意味着更为小的外观上，使得打磨关键技术及无关装置的正因如此其重要官能促使提升于。下图展示10nm多重模框陶瓷定律，相关多次打磨：

10nm多重模框陶瓷定律，相关更为多次打磨

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芯片线宽度的加大及多重模框陶瓷等取而代之装配陶瓷的采用，对打磨关键技术的数值和值得注意承诺更为高。打磨关键技术必须在打磨速率、各向异官能、打磨偏差、同样比、极深宽度比、除此以外匀分布官能、放射性元素、强于磁场引发的敏感二极管损伤、固体沾污等高效率上适用更为高的承诺，打磨装置随之更为取而代之其发展，例如：打磨装置的静急电吸盘从慢慢地的4个两区扩及大共约20个两区，以意味着更为高承诺的除此以外匀分布官能；更为好的腔体温度依靠大大提高生含线值得注意。

芯片2D存储二极管的线宽度已接有数力学正因如此限，NAND芯片已离开3D以前。目前为止64层3D NAND芯片已离开华中邻近地区线，96层和128层芯片已迥然不同大大批量生含线前期。3D NAND装配陶瓷中都，缩减集成度的主要方法不再是加大单层上线宽度而是缩减堆的实质上理论上型。打磨要在氧立体化硅和氮立体化硅的叠层在结构上上，研磨40：1到60：1甚至更为高的正因如此极深穿孔或正因如此极深的沟槽。3D NAND实质上理论上型的缩减承诺打磨关键技术意味着更为高的极深宽度比。

2D NAND及3D NAND图表

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3、MOCVD装置大型企业在取而代之关键技术上都有数年来的拓展具体情况与下一代拓展渐进

装配照明设备用光盘LED一个大片的MOCVD关键技术已降至极其成熟的前期，MOCVD装置跨国公司目前为止主要在大大提高华中邻近地区线意志力一个华中邻近地区线所需的效能、降低生含线开发成本、具备大外观上衬底一个大意志力等上都顺利完成关键开发技术取而代之，以适用下游技术的发展含品的需要。

日本公司应可用Mini LED取而代之型标示单单技术的发展的MOCVD装置已离开大大批量生含线前期，其含品得到大共约100腔的供货，不太确实大批量技术的发展在反超供应商生含线线。

日本公司应可用Micro LED低端标示单单的MOCVD装置和应可用碳立体化硅牵引力二极管的一个大装置还迥然不同合作开发前期，原先主要将在提升于含单单无线电波除此以外匀分布官能，增加一个大片固体度，大大提高芯片良率等上都顺利完成关键技术打破，从而推进其含品的随之其发展，提升于装置的自动立体化效能以及大外观上一个大片研磨意志力。

4、LPCVD装置在中都前端金旧称立体化陶瓷中都的拓展现况与下一代拓展渐进

国际上国际上上高科技语义二极管陶瓷链表从14nm、7nm向5nm及更为高科技陶瓷方向拓展，二极管互联急电容缓冲器日渐加大视作受到影响二极管速度的正因如此其重要因素。在90nm到28nm的习惯陶瓷链表中都，降低注意到穿孔急电容缓冲器的正因如此其重要是降低钨细胞膜的急电容缓冲器率。但是在14nm及更为高科技陶瓷链表，金旧称阻挡层、金旧称形核层对注意到穿孔倍数的受到影响越来越明显，如何增加或者消除阻挡层和形核层的急电容缓冲器是降低注意到穿孔急电容缓冲器的正因如此其重要。钯、钼、钯等金旧称的技术的发展以及无阻挡层的陶瓷也在更为高科技陶瓷链表上开发取而代之和技术的发展。高科技语义二极管还必须除此以外匀分布官能和稳定官能更为好的金旧称栅的填入关键技术，以大大提高二极管的效能和稳定官能。

随着3D NAND堆实质上理论上型缩减，阶梯注意到穿孔的极深宽度比就会降至40：1到60：1以上，这对氮立体化钛阻挡层的落叶和正因如此高极深宽度比的钨填入都提单单了更为高的承诺，堆实质上理论上型的大大提高还必须更为具挑战官能的WL线路填入，有数更为高的极深宽度比和更为长的横向填入。

5、所旧称大型企业在取而代之习惯含业、取而代之业态、取而代之方理论上型而上都有数年来的拓展具体情况与下一代拓展渐进

矽在关键技术上的随之打破所随之而来的技术的发展迭代，改变了许多习惯大型企业亦催生都有技术的发展，如互联网、个人电脑、智能、5G等取而代之兴习惯含业。矽的装配离不开矽装置，矽装置大型企业的持续性拓展间接地有利于了各类取而代之习惯含业的孕育。

芯片教育领域中都，以物联网为推选的取而代之兴习惯含业，在可先于见的下一代内拓展渐进显现。智能、大粗略估计数据、可穿戴装置、自动驾驶轿车、智能机缓冲器人等技术的发展的拓展将释放单单大量芯片装配的需要，促使催生上游矽装置大型企业的稳步上升。

光急电子LED习惯含业中都，以LED取而代之型标示单单为推选的取而代之兴习惯含业，日渐视作标示单单大型企业追逐的同类型。意味著取而代之兴的小间距LED标示单单在力学拼缝、标示单单效果、功耗、用到寿命上都除此以外有优越表现，下一代随着Mini LED和Micro LED关键技术的促使拓展和随之完善，LED取而代之型标示单单习惯含业上半年视作继LED照明设备习惯含业后MOCVD技术的发展习惯含业拓展最短时间的英文版块之一。

在立体氧化物矽牵引力二极管教育领域，随着取而代之恩建、“碳达峰、碳中都和”的政策与总体规划稠密推单单，立体氧化物矽在清洁能源、取而代之能源轿车及充急电桩、牵引力二极管快充、大粗略估计数据中都心等技术的发展含品的需要不太确实开始呈现出单单加速上升渐进。

3日本公司主要就会而所粗略估计数据和人力自然资源高效率

3.1有数3年的主要就会而所粗略估计数据和人力自然资源高效率

理论上单位：元 币种：总金额

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3.2统而所粗略估计数据期分上半年的主要就会而所粗略估计数据

理论上单位：元 币种：总金额

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上半年粗略估计数据与已揭发不定期统而所粗略估计数据粗略估计数据相似之处暗示

□限于 √不限于

4董事长局具体情况

4.1除此以外股董事长局总人数、绝对多数以后的有价证券董事长局总人数和持有相当多绝对多数大股东的董事长局总人数及前 10 名董事长局具体情况

理论上单位: 股

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存托有价证券具备人具体情况

□限于 √不限于

截至统而所粗略估计数据期末绝对多数数量前十名董事长局具体情况表

□限于 √不限于

4.2日本公司与有限公司董事长局间的所有权及依靠关系的方框图

□限于 √不限于

4.3日本公司与理论上依靠人间的所有权及依靠关系的方框图

□限于 √不限于

4.4统而所粗略估计数据期末日本公司有价证券董事长局总人数及前10 名董事长局具体情况

□限于 √不限于

5日本公司债券具体情况

□限于 √不限于

第三节 正因如此其重要依法

1日本公司应当根据正因如此其重要官能原则，揭发统而所粗略估计数据而政府日本公司经营不善具体情况的根本性变立体化，以及统而所粗略估计数据而政府愈演愈烈的对日本公司经营不善具体情况有根本性受到影响和届时下一代就会有根本性受到影响的依法。

□限于 √不限于

2日本公司年终统而所粗略估计数据揭发后仍然存在伦敦证券交易所几率警示或暂停香港交易所一般来说的，应当揭发导致伦敦证券交易所几率警示或暂停香港交易所一般来说的情况。

□限于 √不限于

证券交割示例：688012 证券交割亦称：中都微日本公司 核定注册号：2022-016

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司

第二届副议长就会第四次大就会提案核定

本日本公司副议长就会及全体副议长必需本核定主旨不仍然存在任何不道德可考、误导官能详述或者根本性出处，并对其主旨的真实世界官能、精确官能和清晰官能行政机关处分担负起法理责任。

一、副议长就会大就会举行具体情况

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司（以下亦称“中都微日本公司”或“日本公司”）第二届副议长就会第四次大就会于2022年3月初30日在日本公司大就会室以现场融合通信大就会方理论上型举行。本次大就会的请示于2022年3月初15日通过急电话机及邮件方理论上型收到全体副议长。大就会应单单席副议长3人，理论上到就会副议长3人，大就会由副议长就会名誉主席邹非太太主持。大就会的召集和举行技术的发展程序适用有关法理、行政机关规章、部门规章、原则官能档案和日本公司章程的规章，大就会提案合法有效。

二、副议长就会大就会审定具体情况

（一）审定通过《关于中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司2021年年终统而所粗略估计数据及摘要的审议》

根据无关法理、规章、原则官能档案的规章，日本公司增编了《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司2021年年终统而所粗略估计数据及其摘要》。

副议长就会普遍认为：日本公司2021年年终统而所粗略估计数据公允凸显了日本公司统而所粗略估计数据而政府的人力自然资源现况和经营不善成就，所包内含的讯息从各个上都真实世界地凸显单单日本公司统而所粗略估计数据而政府的经营不善管理者和人力自然资源现况等依法；日本公司2021年年终统而所粗略估计数据所揭发的讯息真实世界、精确、清晰，不仍然存在不道德可考、误导官能详述或根本性出处；没发现参与日本公司2021年年终统而所粗略估计数据增编和审定的工作人员有违背保密规章的举动。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

本审议尚为需送交日本公司董事长局大就会审定。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

（二）审定通过《关于日本公司2021年年终人力自然资源决算统而所粗略估计数据的审议》

根据无关法理、规章、原则官能档案以及日本公司章程的规章，立体化日本公司2021年年终经营不善及人力自然资源现况，日本公司增编了《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司2021年年终人力自然资源决算统而所粗略估计数据》。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

本审议尚为需送交日本公司董事长局大就会审定。

（三）审定通过《关于日本公司2021年年终盈余分配先于案的审议》

根据无关法理、规章、原则官能档案以及日本公司章程的规章，融合日本公司经营不善现况及银行贷款需要，日本公司2021年终不分配盈余，金融市场公积不转增。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

本审议尚为需送交日本公司董事长局大就会审定。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

（四）审定通过《关于日本公司2021年年终征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况的专项统而所粗略估计数据的审议》

根据无关法理、规章、原则官能档案以及日本公司《征集银行贷款管理者前提》的规章，融合本日本公司的理论上具体情况，日本公司增编了《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司2021年终征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况的专项统而所粗略估计数据》。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

（五）审定通过《关于聘任日本公司2022年终审而所私人机构的审议》

根据人力自然资源社交活动的持续性官能特征，日本公司拟定2022年终聘任普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）为本日本公司顺利完成2022年终人力自然资源统而所粗略估计数据和在结构上上依靠的审而所，并授权日本公司管理者层按照含品具体情况，立体化不对参与审而所工作的工程建设看成员的专业方法论、级别、顺利完成时间和工作数量级立体化确定2022年终审而所花费。

副议长就会普遍认为：普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）很强于从事证券交割、期货无关经营范围执业资格和为香港交易所日本公司提供者审而所增值的专业方法论和意志力，在2021年的审而所工作中都，审而所制作团队严谨敬业，而所划须要概要，驻的审而所工作人员很强于很好的职业操守，审而所工作专业方法论丰富，熟识日本公司的经营不善拓展具体情况，其为日本公司开具的审而所统而所粗略估计数据客观官能、公正地凸显了日本公司的人力自然资源现况和经营不善成就，达成条款聘任普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）为日本公司2022年终审而所私人机构。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

本审议尚为需送交日本公司董事长局大就会审定。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

（六）审定通过《关于副议长就会2021年年终工作统而所粗略估计数据的审议》

根据无关法理、规章、原则官能档案以及日本公司章程、日本公司《副议长大就会事规则》的规章，日本公司副议长就会增编了《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司副议长就会2021年年终工作统而所粗略估计数据》。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

本审议尚为需送交日本公司董事长局大就会审定。

（七）审定通过《关于日本公司2022年年终副议长退休金拟议的审议》

根据日本公司章程的规章，融合日本公司理论上经营不善拓展具体情况，并参照大型企业、邻近地区退休金低水平，日本公司拟订了2022年年终副议长的退休金拟议。

本审议，全体副议长除此以外为利害关系方，需单独送交董事长局大就会审定审议。

（八）审定通过《关于日本公司2021年终内控自我评价统而所粗略估计数据的审议》

根据《跨国公司在结构上上依靠理论上原则》、《跨国公司在结构上上依靠评价必需》及设施必需的规章和其他在结构上上依靠政府私人机构承诺，日本公司对截至2021年12月初31日的在结构上上依靠有效官能自我评价，在此取而代之的增编了《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司2021年终在结构上上依靠评价统而所粗略估计数据》。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

（九）审定通过《关于日本公司首次公开场合日单单英文版金融市场募投工程建设结项并将节余征集银行贷款永久补充流动银行贷款的审议》

融合日本公司理论上经营不善具体情况，为大大提高银行贷款用到效率，日本公司副议长就会达成条款将首次公开场合日单单英文版金融市场募投工程建设结项，并将工程建设结项后的节余征集银行贷款永久补充流动银行贷款可用日常生含线经营不善社交活动。

审议结果：3参选人提案，0参选人反对，0参选人这两项。

具体主旨则有日本公司次日揭发于北京证券交割交割所com（www.sse.com.cn）的无关核定及档案。

特此核定。

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司副议长就会

2022年3月初31日

证券交割示例：688012 证券交割亦称：中都微日本公司 核定注册号：2022-017

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司

2021年年终盈余分配拟议核定

本日本公司董事长就会及全体董事长必需本核定主旨不仍然存在任何不道德可考、误导官能详述或者根本性出处，并对其主旨的真实世界官能、精确官能和清晰官能行政机关处分担负起法理责任。

正因如此其重要主旨提醒：

● 本次不分配盈余，金融市场公积不转增。

● 日本公司2021年终不分配盈余，是恩于大型企业拓展具体情况、日本公司拓展前期及自身经营不善方理论上型而、盈余低水平及银行贷款需要的立体化不对。

一、盈余分配拟议主旨

经普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）审而所表明，中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司（以下亦称“中都微日本公司”或“日本公司”）2021年终意味着归旧称于香港交易所日本公司董事长局的上年为1,011,423,670.06元，母日本公司意味着的上年为890,210,403.52元。充分不对到日本公司目前为止迥然不同拓展期，经营不善生含线意志力随之缩减，银行贷款需要小得多，为更为好地保护全体董事长局的长远个人利益，日本公司2021年终不分配盈余，金融市场公积不转增。

本次盈余分配拟议尚为需送交董事长局大就会审定。

二、关于2021年终盈余分配先于案的暗示

日本公司2021年终不分配盈余，是恩于大型企业拓展具体情况、日本公司拓展前期及自身经营不善方理论上型而、盈余低水平及银行贷款需要的立体化不对，主要具体情况如下：

（一）大型企业特点及拓展具体情况

矽装置大型企业是一个世界各地立体化程度较高的大型企业，受国际上经济体制波动、矽含品、终端消费含品需要受到影响，其拓展常常呈现出一定的周期官能波动。当总体经济体制和终端消费含品需要变立体化小得多时，矽生含线厂商就会优化其金融市场官能支单单生含线意志力和对矽装置的供货而所划，从而对日本公司的营收和盈余转化成受到影响。

在世界各地商业贸易军事冲突随之、世界经济体制上升放缓、禽流感受到影响持续性在世界各地蔓延、国际上上经济体制下行压力加大的背景下，世界各地矽习惯含业、LED习惯含业及装置习惯含业呈现出震荡拓展形势。

（二）日本公司拓展前期及自身经营不善方理论上型而

日本公司主要从事矽装置的合作开发、生含线和售单单，通过向下游芯片、LED芯片、高科技填入、MEMS等矽其含品的装配日本公司售单单打磨装置和MOCVD装置、提供者铍制或增值意味着收入和盈余。

日本公司迥然不同的矽装置大型企业旧称于关键技术、银行贷款稠密型大型企业，很强于其含品关键技术升级快、合作开发顺利完成大等特点。海外反超的同大型企业可比日本公司除此以外在合作开发上顺利完成了大量银行贷款，有数年来主要可比日本公司年合作开发顺利完成大共约10亿美元。2021年日本公司合作开发顺利完成为总金额7.28亿元，与海外反超的矽日本公司仍有小得多差别。目前为止日本公司迥然不同相较加速拓展前期，必须持续性顺利完成大量银行贷款可用取而代之一代打磨装置、涂层装置以及宽度禁背著牵引力缓冲器 件一个大落叶装置等取而代之其含品合作开发以及含品立体化等。

此外，为更为好地随之完善日本公司的习惯含业链布局，促使提升于日本公司的含能生含线意志力和立体化竞争者实力，日本公司正在北京前镇取而代之功能区工程中都微前镇习惯含业立体化恩地及中都微前镇的总部和合作开发中都心，在南昌高取而代之区工程中都微南昌习惯含业立体化恩地。无关工程亦必须大量银行贷款顺利完成反对。

（三）盈余低水平及银行贷款需要

2021年终日本公司意味着归旧称于香港交易所日本公司董事长局的上年为1,011,423,670.06元，母日本公司意味着的上年为890,210,403.52元，日本公司盈余意志力随之提升于，总体人力自然资源现况向好。

2022年，日本公司将急于推进关键技术合作开发，重视核心关键技术的创取而代之。在开发取而代之强于磁场打磨装置和MOCVD装置的现实生活中都，日本公司拟招募国际上和国际上上一流的关键技术优秀人才，保有高额的合作开发顺利完成。同时，为适应经营不善生含线意志力的加速拓展，日本公司将促使提升于数量级管制和在结构上上管理者低水平，随之花钱大花钱强于，为全体董事长局造就较好的外资期望。在此现实生活中都，日本公司必须更为多的银行贷款以保障目标的意味着。

（四）没顺利完成现金跨国公司主的情况

日本公司将之前保有高额的合作开发顺利完成以无疑催生工程建设的合作开发延迟，随之践行一个大理论上型拓展方针并更为促使探索在无关教育领域的外资机就会。目前为止日本公司正迥然不同加速拓展的正因如此其重要前期，必须大量银行贷款的反对。

（五）日本公司没分配盈余的功用和而所划

日本公司2021年终没分配盈余将翻倍滚存至下一年终，以适用日本公司生含线经营不善和工程建设外资随之而来的经营银行贷款的需要。日本公司将之前严格按照无关法理依据和《日本公司章程》等规章，立体化不对与盈余分配无关的或多或少，从最大限度日本公司拓展和外资者期望的角度单单发，更为促使强制执行日本公司的盈余分配政策，与广大外资者共享日本公司拓展的成就。

二、日本公司强制执行的决策技术的发展程序

（一）董事长就会大就会的举行、审定和审议具体情况

日本公司于2022年3月初30日举行第二届董事长就会第五次大就会审定通过了《关于日本公司2021年年终盈余分配先于案的审议》，充分不对到日本公司目前为止迥然不同拓展期，经营不善生含线意志力随之缩减，银行贷款需要小得多，为保有日本公司持续性拓展及银行贷款流动官能的必须，确保日本公司具备确实的、充足的银行贷款以应对外部总体经济体制环境变立体化确实转化成的经营不善几率，更为好地保护全体董事长局的长远个人利益，根据无关法理、规章、原则官能档案以及日本公司章程的规章，达成条款日本公司2021年终不分配盈余，金融市场公积不转增，并达成条款将该拟议送交日本公司2021年年终董事长局大就会审定。

（二）实质上董事长观点

日本公司全体实质上董事长普遍认为：

为保有日本公司持续性拓展及银行贷款流动官能的必须，日本公司2021年终不分配盈余的决定适用日本公司意味著的理论上具体情况，适用法理依据及《日本公司章程》的规章，达成条款将该审议送交日本公司2021年年终董事长局大就会审定。

（三）副议长就会观点

本日本公司于2022年3月初30日举行第二届副议长就会第四次大就会审定通过了《关于日本公司2021年年终盈余分配先于案的审议》，在充分不对日本公司业绩具体情况、生含线经营不善必须以及下一代拓展银行贷款需要等立体化因素的具体情况下，达成条款不分配盈余、金融市场公积不转增。该审议与日本公司拓展总体规划吻合，最大限度日本公司的长时间经营不善和健康拓展，具备合法官能、合规官能、有效官能，适用日本公司及全体董事长局的个人利益，因此达成条款本次盈余分配拟议并达成条款将该拟议送交本日本公司2021年年终董事长局大就会审定。

三、无关几率提醒

（一）本次盈余分配拟议融合了日本公司拓展前期、下一代的银行贷款需要等因素，不能对日本公司经营不善现金流转化成根本性受到影响，不能受到影响日本公司长时间经营不善和仍然拓展。

（二）本次盈余分配拟议尚为需送交日本公司2021年年终董事长局大就会审定通过后方可制定。

特此核定。

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司董事长就会

2022年3月初31日

证券交割示例：688012 证券交割亦称：中都微日本公司 核定注册号：2022-018

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司

2021年终征集银行贷款贮存与

理论上用到具体情况专项统而所粗略估计数据

本日本公司董事长就会及全体董事长必需本核定主旨不仍然存在任何不道德可考、误导官能详述或者根本性出处，并对其主旨的真实世界官能、精确官能和清晰官能行政机关处分担负起法理责任。

根据中都国证监就会《香港交易所日本公司政府私人机构必需第2号因由香港交易所日本公司征集银行贷款管理者和用到的政府私人机构承诺》、《北京证券交割交割所科创框香港交易所日本公司自律政府私人机构必需第1号因由原则运作》和《北京证券交割交割所科创框金融市场香港交易所规则（2020年12月初修定）》等无关规章，中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司（以下亦称“日本公司”或“本日本公司”）董事长就会增编了2021年终（以下亦称“统而所粗略估计数据期”或“本统而所粗略估计数据期”）征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况专项统而所粗略估计数据如下：

一、征集银行贷款理论上具体情况

（一）理论上征集银行贷款总额、银行贷款到估具体情况

1、2019年首次公开场合日单单英文版金融市场征集银行贷款

根据中都国证券交割监督管理者委员就会于2019年7月初1日签发的证监批准后[2019]1168号文《关于达成条款中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司首次公开场合日单单英文版金融市场特许的原则同意》，中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司获准向境内外资者首次公开场合日单单英文版总金额除此以外股53,486,224股，每股日单单英文版生含成本为总金额29.01元，股款以总金额缴足，而所总金额155,163.54万元，所得承销及记名花费共而所总金额8,782.84万元后，理论上收到征集银行贷款而所总金额146,380.69万元，再所得日单单英文版中都介及其他日单单英文版花费总金额总共1,810.41万元后，理论上征集银行贷款超额为总金额144,570.28万元（以下亦称“上半年征集银行贷款”），上述银行贷款于2019年7月初16日同步进行，全案普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）给与实验者并开具了普华永道中都天验字（2019）第0411号验资统而所粗略估计数据。

2、2020年终向特定并不一定日单单英文版A股金融市场征集银行贷款

中都国证券交割监督管理者委员就会于2021年3月初3日开具证监批准后[2021]645号文《关于达成条款中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司向特定并不一定日单单英文版金融市场特许的原则同意》核准了日本公司向特定并不一定日单单英文版80,229,335股总金额除此以外股A股金融市场。截至2021年6月初22日止，日本公司完成了总金额除此以外股A股80,229,335股的日单单英文版，每股日单单英文版生含成本为总金额102.29元，股款以总金额缴足，总共总金额820,665.87万元，所得承销及记名花费共而所总金额8,206.66万元（不内含增值税）后，理论上收到征集银行贷款而所总金额812,459.21万元，再所得其他日单单英文版花费总金额总共642.96万元（不内含增值税）后，理论上征集银行贷款超额为总金额811,816.24万元（以下亦称“再融资征集银行贷款”），上述银行贷款于2021年6月初22日同步进行，全案普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）给与实验者并开具了普华永道中都天验字（2021）第0638号验资统而所粗略估计数据。

（二）征集银行贷款用到及结余具体情况

1、2019年首次公开场合日单单英文版金融市场征集银行贷款

截至2021年12月初31日，日本公司上半年征集银行贷款台银限额为总金额4,384.57万元（内含征集银行贷款利息收入扣减利息超额）。具体具体情况如下：

■

2、2020年终向特定并不一定日单单英文版A股金融市场征集银行贷款

截至2021年12月初31日，日本公司再融资征集银行贷款台银限额为总金额167,701.42万元（内含征集银行贷款利息收入扣减利息超额）。具体具体情况如下：

■

二、征集银行贷款管理者具体情况

中都微日本公司已按照《中都华人民共和国日本商法》、《中都华人民共和国证券交割法》、《关于促使加强于大股东有限日本公司公开场合征集银行贷款管理者的请示》、《北京证券交割交割所香港交易所日本公司征集银行贷款管理者前提（2013年修定）》等无关规章的承诺拟订《中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司征集银行贷款管理者前提》（以下亦称“征集银行贷款管理者前提”），对征集银行贷款进行改革台银存储政治体制，对征集银行贷款的贮存、用到、工程建设制定管理者、外资工程建设的变更为及用到具体情况的监督等顺利完成了规章。该前提不太确实中都微日本公司2019年终第一次临时董事长局大就会审定通过。

1、2019年首次公开场合日单单英文版金融市场征集银行贷款

截至2021年12月初31日，没用到的上半年征集银行贷款贮存专项估户的限额如下：

■

本日本公司依照规章对IPO征集银行贷款采取了台银存储管理者，寄信了IPO征集银行贷款台银，并于2019年7月初与记名私人机构海通证券交割大股东有限日本公司、征集银行贷款台银政府私人机构银行招商银行大股东有限日本公司北京金桥分支机构、中都信银行大股东有限日本公司北京中国银行及中都国工程银行大股东有限日本公司北京浦东中国银行签署了《征集银行贷款台银存储三方政府私人机构条款》。

2、2020年终向特定并不一定日单单英文版A股金融市场征集银行贷款

截至2021年12月初31日，没用到的再融资征集银行贷款贮存专项估户的限额如下：

■

本日本公司依照规章对再融资征集银行贷款采取了台银存储管理者，寄信了再融资征集银行贷款台银，并分别于2021年4月初与记名私人机构海通证券交割大股东有限日本公司、征集银行贷款台银政府私人机构银行招商银行大股东有限日本公司北京中国银行营业部、中都信银行大股东有限日本公司北京浦东中国银行、北京浦东拓展银行大股东有限日本公司张江科技分支机构及中都国工程银行大股东有限日本公司北京浦东中国银行签署了《征集银行贷款台银存储三方政府私人机构条款》。

三、本统而所粗略估计数据期征集银行贷款的理论上用到具体情况

1．征集银行贷款外资工程建设(以下亦称“募投工程建设”)的银行贷款用到具体情况

本统而所粗略估计数据期本日本公司征集银行贷款理论上用到具体情况则有新规1 IPO征集银行贷款用到具体情况请注意和新规2 再融资征集银行贷款用到具体情况请注意。

2．募投工程建设先期顺利完成及可逆具体情况

（1）2019年首次公开场合日单单英文版金融市场征集银行贷款

本统而所粗略估计数据期本日本公司不仍然存在募投工程建设先期顺利完成和可逆具体情况。

（2）2020年终向特定并不一定日单单英文版A股金融市场征集银行贷款

2021年8月初24日，日本公司第一届董事长就会第二十二次大就会和第一届副议长就会第十六次大就会审定通过了《关于用到征集银行贷款可逆先于先顺利完成的自筹银行贷款的审议》，达成条款日本公司用到本次日单单英文版征集银行贷款可逆先于先顺利完成的自筹银行贷款总共总金额33,326.67 万元，其中都先于先顺利完成到募投工程建设的自筹银行贷款为33,105.98万元，先于先支付日单单英文版花费的自筹银行贷款为 220.69 万元。上述可逆适用政府私人机构承诺。

3．空置征集银行贷款顺利完成现金管理者，外资无关其含品具体情况

日本公司为大大提高征集银行贷款用到效益，将之外暂时官能空置征集银行贷款通过请示利息、在结构上官能利息等利息方理论上型或购买安全官能高、流动官能好、一年区域内的短期保本型理财其含品等方理论上型顺利完成现金管理者，外资其含品的月内不大共约 12 个月初。

（1）2019年首次公开场合日单单英文版金融市场征集银行贷款

2020年6月初30日，日本公司第一届董事长就会第十三次大就会及第一届副议长就会第九次大就会通过了《关于用到空置征集银行贷款顺利完成现金管理者的审议》，达成条款在不受到影响征集银行贷款工程建设工程和征集银行贷款用到的具体情况下，拟用到额度不大共约1,000,000,000元空置征集银行贷款顺利完成现金管理者，用到月内为自该次董事长就会审定通过一经不大共约 12 个月初，在提案限而政府本日本公司可在不大共约上述额度及提案限而政府循环翻转用到。

截至2021年12月初31日，本日本公司用到空置IPO征集银行贷款顺利完成现金管理者的具体情况如下：

■

（2）2020年终向特定并不一定日单单英文版A股金融市场征集银行贷款

2021年7月初9日，日本公司第一届董事长就会第二十一次大就会及第一届副议长就会第十五次大就会审定通过了《关于用到空置征集银行贷款顺利完成现金管理者的审议》，达成条款日本公司用到额度不大共约8, 000,000,000 元空置征集银行贷款顺利完成现金管理者，用到月内自该次董事长就会审定通过起12个月初内，在提案限而政府本日本公司可在不大共约上述额度及提案限而政府循环翻转用到。

截至2021年12月初31日，日本公司用到空置再融资征集银行贷款顺利完成现金管理者的具体情况如下：

■

四、变更为征集银行贷款外资工程建设的银行贷款用到具体情况

截至2021年12月初31日，日本公司不仍然存在变更为征集银行贷款外资工程建设的具体情况。

五、征集银行贷款外资工程建设已对外所有者或可逆具体情况

截至2021年12月初31日，日本公司不仍然存在征集银行贷款外资工程建设对外所有者或可逆具体情况。

六、征集银行贷款用到及揭发中都仍然存在的疑问

日本公司不太确实揭发的征集银行贷款无关讯息及时、真实世界、精确、清晰；已用到的征集银行贷款除此以外投靠所承诺的征集银行贷款外资工程建设，不仍然存在违规用到征集银行贷款的一般来说。

七、就会而所五军研音对日本公司年终征集银行贷款贮存与用到具体情况开具的法医统而所粗略估计数据的结论官能观点

经法医，普华永道中都天就会而所五军研音（独有除此以外两兄弟）普遍认为：上述征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况专项统而所粗略估计数据在所有根本性上都按照中都国证券交割监督管理者委员就会核定[2022]15号《香港交易所日本公司政府私人机构必需第2号-香港交易所日本公司征集银行贷款管理者和用到的政府私人机构承诺(2022年修定)》、北京证券交割交割所发布命令的《北京证券交割交割所香港交易所日本公司自律政府私人机构必需第1号一原则运作》及《北京证券交割交割所香港交易所日本公司自律政府私人机构指南第1号 核定格理论上型一第十六号 香港交易所日本公司征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况的专项统而所粗略估计数据》增编，并在所有根本性上都确有凸显了中都微日本公司2021年终征集银行贷款贮存与理论上用到具体情况。

八、记名私人机构对日本公司年终征集银行贷款贮存与用到具体情况所开具专项复查统而所粗略估计数据的结论官能观点

经复查，记名私人机构普遍认为：日本公司2021年终征集银行贷款的贮存与用到适用《香港交易所日本公司政府私人机构必需第2号因由香港交易所日本公司征集银行贷款管理者和用到的政府私人机构承诺》、《北京证券交割交割所科创框金融市场香港交易所规则（2020年12月初修定）》以及《北京证券交割交割所香港交易所日本公司征集银行贷款管理者前提（2013年修定）》等法理依据和原则官能档案的规章；日本公司2021年终对征集银行贷款顺利完成了台银存储和专项用到，不仍然存在不容许改变征集银行贷款功用和危及董事长局个人利益的一般来说，不仍然存在违规用到征集银行贷款的一般来说。日本公司本年终征集银行贷款用到不仍然存在违背发展中国家反洗钱无关法理依据的一般来说。

综上，记名私人机构对中都微日本公司2021年终征集银行贷款贮存与用到具体情况投票表决。

特此核定。

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司董事长就会

2022年3月初31日

附件1：上半年征集银行贷款用到具体情况请注意：

总额理论上单位：总金额万元

■

附件2：再融资征集银行贷款用到具体情况请注意：

总额理论上单位：总金额万元

■

证券交割示例：688012 证券交割亦称：中都微日本公司 核定注册号：2022-019

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司关

于届时2022年年终日常区别交割的核定

本日本公司董事长就会及全体董事长必需本核定主旨不仍然存在任何不道德可考、误导官能详述或者根本性出处，并对其主旨的真实世界官能、精确官能和清晰官能行政机关处分担负起法理责任。

正因如此其重要主旨提醒：

● 是究竟必须送交董事长局大就会审定：是

● 日常区别交割对香港交易所日本公司的受到影响：本次区别交割旧称日本公司日常区别交割，是长时间生含线经营不善经营范围，以含品生含成本为结算依据，遵循公民权利理应原则，交割几率可控，不仍然存在危及日本公司及董事长局个人利益的具体情况，不能对区别人转变成小得多的忽视。

一、日常区别交割理论上具体情况

（一）日常区别交割强制执行的审定技术的发展程序

中都微矽装置（北京）大股东有限日本公司（以下亦称“日本公司”）于2022年3月初30日举行第二届董事长就会第五次大就会，审定通过《关于届时2022年年终日常区别交割的审议》，区别董事长GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、朱民、朱征帆、ZHI YOU DU（杜志游）、璋、张卫不对了审议，此审议获单单席大就会的非区别董事长一致审议通过。

日本公司实质上董事长已就该依法刊载了事先认可观点，并在董事长就会上刊载明确的实质上观点：日本公司2022年年终届时愈演愈烈的日常区别交割是日本公司按照不公、公正、公开场合原则积极参与，无关区别交割不能危及日本公司和全体董事长局的个人利益。日本公司在随之着力增加区别交割的同时，与区别方的区别交割将之前遵循不公、有效的原则，两国间的交割举动除此以外通过合同的方理论上型给与共必定会。日本公司2022年年终届时愈演愈烈的日常区别交割生含成本公允，不能危及日本公司和非区别董事长局的个人利益。区别交割对日本公司的人力自然资源现况、经营不善成就不能转化成任何不利受到影响，日本公司的主要经营范围也不能因此类交割而对区别方转变成忽视。

日本公司董事长就会审而所委员就会已就该依法刊载了书面审核观点：日本公司2022年年终届时愈演愈烈的日常区别交割是日本公司按照不公、公正、公开场合原则积极参与，不能危及日本公司和全体董事长局的个人利益，审定技术的发展程序和审议技术的发展程序适用《日本商法》、《证券交割法》等法理依据以及《日本公司章程》的有关规章。

本次区别交割依法相关总额已降至3000万元以上，且占到香港交易所日本公司最有数一期经审而所总资含或市值1%以上，需送交日本公司董事长局大就会审定，区别董事长局应在董事长局大就会上对无关审议不对审议。

（二）本次日常区别交割届时总额和类型

理论上单位：总金额 万元

■

注：上表中都本次届时总额占到同类经营范围%而所算公理论上型的分母为2021年同类经营范围总额。

（三）前次日常区别交割的届时和可执行具体情况

理论上单位：总金额 万元

■

(下转B279英文版)

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